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MEMS振動傳感器技術應用分享

日期:2023-01-13

  Witium團隊推出的設備預測性維護解決方案中,溫振一體傳感器和邊緣計算網關是非常重要的硬件組成部分。其中,精密小體積的WTS系列傳感器不同于傳統壓電式傳感器,采用的是MEMS技術,那么MEMS技術指的是什么呢?

  MEMS微機電系統(MicroElectroMechanicalSystem),是集多個微機構、微傳感器 、微執行器 、信號處理 、控制電路、通信接口及電源于一體的微型電子機械系統。

  傳統的傳感器件因其制作工藝與半導體 IC工藝不兼容,所以無論在性能、尺寸和成本上都不能與通過IC 技術制作的高速度、高密度、小體積和低成本的信號處理器件相適應,于是制約了整個系統的集成化、批量化和性能的充分發揮。

MEMS振動傳感器

  微型傳感器不是傳統傳感器簡單的物理縮小的產物,而是以新的工作機制和物化效應,使用標準半導體工藝兼容的材料,通過MEMS 加工技術制備的新一代傳感器件,具有小型化、集成化的特點:

  1、微型化MEMS振動傳感器器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。

  2、性能提高:可以極大地提高傳感器性能。在信號傳輸前就可放大信號,從而減少干擾和傳輸噪音,提高信噪比;在芯片上集成反饋線路和補償線路,可改善輸出的線性度和頻響特性,降低誤差,提高靈敏度。

  3、陣列性:可以在一塊芯片上集成敏感元件、放大電路和補償線路。可以把多個相同的敏感元件集成在同一芯片上。

  4、兼容性:便于與微電子器件集成與封裝。

  5、以硅為主要材料:機械電器性能優良:硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當,密度類似鋁,熱傳導率接近鉬和鎢

  結合MEMS技術的優點,上海輝泰的傳感器具有超強的性能、實力強硬,方正小體積能夠適應客戶現場各種狹窄、惡劣的安裝環境。且支持三軸傳感,還能采集設備表面溫度和振動數據,為后面WitExpert故障診斷工具對設備數據進行機理模型+數理驅動的分析提供了非常大的支持,幫助企業降低運維成本,讓智能運維更簡單、更高效!

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