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設(shè)備故障分析為什么要選擇MEMS傳感器

  上海輝泰在為客戶提供預(yù)測(cè)性維護(hù)服務(wù)是需要在目標(biāo)設(shè)備上安裝傳感器，獲取設(shè)備的溫振數(shù)據(jù)以判斷設(shè)備的運(yùn)行狀況和健康狀態(tài)，并進(jìn)行監(jiān)測(cè)、診斷和故障預(yù)測(cè)。WitExpert采用的是Witium自主研發(fā)的MEMS三軸溫振傳感器，它同傳統(tǒng)壓電式傳感器相比優(yōu)勢(shì)是非常明顯的。

  第一點(diǎn)，MEMS傳感器是數(shù)字量輸出，和壓電式傳感器不同，壓電式傳感器是模擬量輸出，采集到數(shù)據(jù)后還需要進(jìn)行轉(zhuǎn)化。MEMS振動(dòng)與壓電式振動(dòng)對(duì)比，其更小的尺寸和更高的集成性更契合現(xiàn)在狀態(tài)監(jiān)測(cè)發(fā)展的趨勢(shì)。

  第二點(diǎn),因?yàn)镸EMS是偏向于內(nèi)置機(jī)械，所以它有個(gè)特別明顯的優(yōu)勢(shì)在于對(duì)溫度的敏感性較低，壓電式傳感器則受溫度的影響比較大。在需要高帶寬和低噪聲的檢測(cè)中，兩種傳感其實(shí)都具有滿足條件的帶寬和低噪聲，但MEMS加速度計(jì)能夠提供直流響應(yīng)，這是壓電式加速度計(jì)不具備的，直流響應(yīng)可以在非常低的轉(zhuǎn)速下檢測(cè)電機(jī)不平衡和傾斜。

  第三點(diǎn)。MEMS傳感器能檢測(cè)近乎直流范圍的極低頻率振動(dòng)，在超低頻超低轉(zhuǎn)速方面是非常有優(yōu)勢(shì)的。另外，更高的分辨率、出色的漂移特性和靈敏度都是它相比壓電式傳感能力更突出的地方。

  第四點(diǎn)。MEMS傳感器具有自檢的功能，不需要每年去校準(zhǔn)，但是壓電式傳感器，它是需要每年校準(zhǔn)的，很不方便。

  第五點(diǎn)，由于MEMS傳感器具有普通傳感器無(wú)法企及的IC硅片加工批量化生產(chǎn)帶來(lái)的成本優(yōu)勢(shì)，所以它的性價(jià)比遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)壓電式傳感器。以單個(gè) 5mm*5mm 尺寸的 MEMS 傳感器為例， 用硅微加工工藝在一片 8 英寸的硅片晶元上可同時(shí)切割出大約 1000 個(gè) MEMS 芯片， 批量生產(chǎn)可大大降低單個(gè) MEMS 的生產(chǎn)成本。